HOME °æÁ¦ IT/°¡Àü/Á¤º¸/Åë½Å/µðÁöÅÐ
'SK¸ÓƼ¸®¾óÁî' °øÀå¼­ À¯µ¶°¡½º ´©Ãâ...ÁÖ¹Îµé ºÒ¾È°¨ È£¼Ò
±è¼º¹Î ±âÀÚ | ½ÂÀÎ 2018.04.13 20:13
»çÁøÁ¦°ø=´º½Ã½º

[¿©¼º¼ÒºñÀڽŹ® ±è¼º¹Î ±âÀÚ] °æºÏ ¿µÁֽÿ¡ À§Ä¡ÇÑ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî °¡½º »ý»ê°øÀå¿¡¼­ À¯µ¶°¡½º°¡ ´©ÃâµÇ´Â »ç°í°¡ ¹ß»ýÇÑ °¡¿îµ¥ Àα٠ÁֹεéÀÌ ºÒ¾Ï°¨À» È£¼ÒÇÏ°í ÀÖ´Ù.

13ÀÏ ¿ÀÀü 6½Ã 36ºÐ²² °æºÏ ¿µÁֽà »óÁÙµ¿ °¡Èï»ê¾÷´ÜÁö ³» SK¸ÓƼ¸®¾óÁî °¡½º »ý»ê°øÀå¿¡¼­ À°ºÒÇÏÅÖ½ºÅÙ(WF6) 40§¸ÀÌ ´©ÃâµÇ´Â »ç°í°¡ ¹ß»ýÇß´Ù.

À¯µ¶°¡½ºÀÎ À°ºÒÇÏÅÖ½ºÅÙÀº ¹°°ú ¸¸³ª¸é È­ÇйÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸ÄÑ ¸Íµ¶¼º ¹°ÁúÀÎ ºÒ»ê(HF)À¸·Î º¯ÇÑ´Ù.

¸¸¾à »ç¶÷ÀÌ ±âü »óÅÂÀÇ ºÒ»êÀ» µéÀ̸¶½Ã¸é, È£Èí±â°¡ ¼Õ»óµÉ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

»ç°í°¡ ¹ß»ýÇÏÀÚ ¼Ò¹æ´ç±¹ µîÀº ¼Ò¹æÂ÷ µî Àåºñ 24´ë¿Í ¼Ò¹æ°ü µî Àη 120¿©¸íÀ» ÇöÀå¿¡ ÅõÀÔÇß°í, 1½Ã°£¿© ¸¸¿¡ »ç°í ¼ö½ÀÀº ¿Ï·áµÆ´Ù.

»ç°í ´ç½Ã ÇöÀå¿¡´Â ÀÛ¾÷ÀÚµéÀÌ ÀÖ¾úÁö¸¸ º¸È£Àåºñ·¾ÈÀüÀåºñ¸¦ Âø¿ëÇÏ°í ÀÖ¾î ´ÙÇàÈ÷ ÀθíÇÇÇØ´Â ¾ø¾ú´ø °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

´Ù¸¸ »ç°í ¼Ò½ÄÀ» Á¢ÇÑ Àα٠ÁֹεéÀº ºÒ¾È°¨À» È£¼ÒÇß´Ù. ÀϺΠÁֹεéÀº °øÀåÀ¸·Î ¸ô·Á¿Í °­·ÂÈ÷ Ç×ÀÇÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

ÇÑÆí, SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ¹ÝµµÃ¼, LCD ÆгÎ, ž籤 ÀüÁö Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼­ ¼¼Á¤¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â NF3(»ïºÒÈ­Áú¼Ò)¸¦ ºñ·ÔÇØ ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), À°ºÒÈ­ÅÞ½ºÅÙ(WF6) µî »ê¾÷¿ë Ư¼ö°¡½º¸¦ Á¦Á¶·ÆǸÅÇϴ ȸ»ç´Ù.

À̹ø¿¡ °¡½º ´©Ãâ »ç°í°¡ ¹ß»ýÇÑ ¿µÁÖ°øÀåÀÇ 38¸¸5000§³ ºÎÁö¿¡´Â NF3 »ý»ê°øÀå 3°³µ¿, SiH4 »ý»ê°øÀå 1°³µ¿, WF6 »ý»ê°øÀå 1°³µ¿, Si2H6 »ý»ê°øÀå 1°³µ¿ ¹× À̸¦ Áö¿øÇÏ´Â ÃæÀüÀå, Á¦Ç° ÃâÇÏ Å͹̳ΠµîÀÌ ÀÖ´Ù.

±è¼º¹Î ±âÀÚ  smkim@wsobi.com

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¿©¼º¼ÒºñÀڽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

±è¼º¹Î ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
¿©¹é
¿©¹é
Back to Top