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반도체 사업장에서, 벤젠 등 발암성물질 발생산업안전보건공단, ‘반도체 제조 사업장 정밀 작업환경평가 연구’결과 발표
송현아 기자 | 승인 2012.02.06 16:46

   
 
한국산업안전보건공단의 산업안전보건연구원(원장 박정선)은 ’08년 반도체 산업 근로자의 백혈병 위험도를 알아보기 위한 집단 역학조사*의 후속조치의 하나로 ’09년부터 3년간 실시한‘반도체 제조 사업장 정밀 작업환경평가 연구’결과를 발표하였다.

* 집단 역학조사 결과(‘08.12.29. 발표): 백혈병 위험도는 일반인구와 차이가 없으나 비호지킨림프종은 반도체업체의 여성근로자에게서 유의하게 높다.(여성 전체 2.67배, 생산직 2.66배, 조립공장 5.16배)

이번 연구는 최초 백혈병이 발생한 사업장 및 이와 유사한 공정을 보유한 사업장(3개사)의 웨이퍼 가공라인(공장)1) 및 반도체 조립라인(공장)2)을 대상으로 백혈병 유발인자인 벤젠, 포름알데히드, 전리방사선 등의 노출특성을 평가한 것이다.

가공라인(Fabrication) 5개소: 웨이퍼에 회로를 구성하고 전도성을 부여하는 공장으로 식각·이온주입·포토공정 등으로 구성된다.
조립라인(Assembly) 4개소: 가공된 웨이퍼를 개개의 칩(Chip)으로 절단·조립하는 공장으로 절단(saw)·몰드(mold)·테스트공정 등으로 구성된다.

연구결과에 따르면, 벤젠은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인 일부 공정에서 부산물*로 발생(가공라인: 불검출~0.00038ppm, 조립라인: 0.00010~0.00990ppm)하는 것으로 확인되었고 노출기준(1ppm)보다 매우 낮아 인체에 직접 영향을 미치는 수준은 아니나 발암성물질이란 점에서 관리가 필요한 것으로 나타났다.

부산물 발생 例): 조립공장(몰드공정)에서 사용하는 수지(Resin)가 공정온도(180℃)에서 분해되면서 벤젠 등 휘발성 유기화합물이 부산물로 발생된다.

포름알데히드 역시 부산물로 발생하였으며, 가공라인에서는 자연환경수준(0.001~0.004ppm), 조립라인에서는 자연환경수준보다 약간 높게 검출(0.002~0.015ppm)되었으나 노출기준(0.5ppm)보다 낮은 수준인 것으로 조사되었다.

전리방사선은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인에서 측정(0.011~0.015m㏜/yr)되었으며 개인 노출선량한도(방사선작업 종사자 50m㏜/yr)보다는 낮은 수준이었다.

한편, 백혈병 유발인자는 아니나 폐암 유발인자로 알려진 비소는 웨이퍼 가공라인의 이온주입공정(임플란트)에서 부산물로 발생하고 노출기준(0.01mg/㎥)을 초과(0.001~0.061mg/㎥)하는 사례도 확인되었으며 특히, 이온주입공정 유지보수작업을 수행하는 협력업체 근로자에게 노출위험이 높아 이에 대한 대책이 필요한 것으로 나타났다.

산업안전보건연구원은 이번 연구결과를 바탕으로 금년 상반기 중 반도체 산업 근로자를 위한 ‘건강관리 가이드’를 제작·배포하고 안전보건 관리자 등을 대상으로 설명회를 개최할 계획이다.

고용노동부는 발암성물질이 작업공정 중 부산물로 발생할 수 있음을 밝힌 이번 연구가 큰 의미가 있다고 보고, 이번에 연구대상에 포함된 업체(3개사)에 대해서는 국소환기장치 보완 등 시설개선, 부산물로 발암성물질이 발생하는 유기화합물을 안전한 물질로 대체, 작업환경측정·특수건강진단 추가 실시 및 협력업체 근로자 건강보호대책 마련 등 시정토록 조치하고, 나머지 반도체 업체에 대해서도 이번 연구결과에 따른 보건관리대책을 중심으로 점검을 실시하고 위험성평가 보완 등 필요한 조치를 취할 예정이라고 밝혔다.

한편, 고용노동부장관(이채필)은 2월 2일 산업의학·독성분야의 전문가로 구성한 ‘반도체 산업 근로자 보건관리 모니터링위원회’2차 회의를 개최하였다.

이 자리에서 이장관은 “반도체 업체에서 발생한 백혈병 사례가 사회적으로 논란이 되고 있는 만큼 작업환경관리 및 개선에 힘써야 할 것”이라고 하면서 “산업안전보건연구원의 연구결과처럼 미량이라 하더라도 발암성물질이 부산물로 발생할 수 있다는 사실을 인지하고 향후 근로자 보건관리를 더욱 강화해 나갈 것”을 주문하였다.

‘반도체 산업 근로자 보건관리 모니터링위원회’는 지난해 8월 삼성반도체가 제출한 보건관리 개선계획의 적정성을 검토하고, 이행실적을 주기적으로 제출받아 확인하며, 지속적으로 보완해 나가도록 하기 위해 구성하였고 향후 전체 반도체 산업의 근로자 보건관리에 관한 발전방안을 모색해 나간다는 계획을 갖고 있다고 밝혔다.

송현아 기자  wsobi@wsobi.com

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